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衍射光柵（Diffractive Grating）設計與加工

衍射光柵是通過周期性結構，對入射光的振幅或相位（或兩者同時）進行周期性空間調制。衍射光柵不僅用于光譜學，還廣泛用于計量、光通訊、信息處理等領域。衍射光柵種類很多，常用的有閃耀光柵、全息光柵、矩形光柵等。

AR增強現實眼鏡可以使用衍射光柵（又被稱為浮雕光柵）來實現光波導。相比于幾何光波導，浮雕光柵波導可以將AR眼鏡做得更輕薄，更適合消費類電子領域的應用。為了使往眼睛方向衍射的光耦合效率達到最高，AR鏡片的入射光柵最好使用斜齒 (slanted grating)或者三角形的閃耀光柵(blazed grating)，但這兩種光柵的設計和加工難度都很高。

基于VirtualLab Fusion內置的傅里葉模態(tài)法（Fourier Modal Method，FMM/RCWA）以及參數掃描（New Parameter Run）和參數優(yōu)化（New Parametric Optimization）功能，能夠針對不同的視場角，快速的完成傾斜光柵以及閃耀光柵等的設計并對所需的級次進行優(yōu)化，以獲得最大的耦合效率，最后導出GDSII結構以進行微納加工。

目前，我們除了可以提供各種常用的衍射光柵標準產品之外，還可以提供客戶化的定制加工服務。特別是可以實現納米級的斜齒光柵和三角形的閃耀光柵的加工。

    

左圖：基于VirtualLab Fusion設計的傾斜光柵折射率分布；右圖：加工所得的傾斜光柵